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-MOCVD晶圆倒片上下料
-GBT-P7A-700 （了解更多）
-两台四轴机器人和一台六轴机器人衔接前道设备对加工完成的晶圆和未加工的晶圆进行一个上下料的工艺。
-减少成本，提高产能和效率
-保证节约人力成本，生产稳定性
-机器人通过国家洁净等级的认证，可在无尘环境中使用。
-机器人配备高速I/O, 实现对圆晶Mapping检测
-高稳定性保证取放晶圆和料盘无擦碰
-晶圆定位精度：±0.05mm、±0.1°
-上下片节拍：425pcs/h
-机器人重复定位精度高（重复定位精度：0.02mm)，可确保晶圆上下片无碰伤
-高速搬运无抖动，可实现晶圆高速上下料 -良品率：≥99.9%
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